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MEMS振動(dòng)傳感器技術(shù)應(yīng)用分享

日期:2023-01-13

  Witium團(tuán)隊(duì)推出的設(shè)備預(yù)測(cè)性維護(hù)解決方案中,溫振一體傳感器和邊緣計(jì)算網(wǎng)關(guān)是非常重要的硬件組成部分。其中,精密小體積的WTS系列傳感器不同于傳統(tǒng)壓電式傳感器,采用的是MEMS技術(shù),那么MEMS技術(shù)指的是什么呢?

  MEMS微機(jī)電系統(tǒng)(MicroElectroMechanicalSystem),是集多個(gè)微機(jī)構(gòu)、微傳感器 、微執(zhí)行器 、信號(hào)處理 、控制電路、通信接口及電源于一體的微型電子機(jī)械系統(tǒng)。

  傳統(tǒng)的傳感器件因其制作工藝與半導(dǎo)體 IC工藝不兼容,所以無(wú)論在性能、尺寸和成本上都不能與通過(guò)IC 技術(shù)制作的高速度、高密度、小體積和低成本的信號(hào)處理器件相適應(yīng),于是制約了整個(gè)系統(tǒng)的集成化、批量化和性能的充分發(fā)揮。

MEMS振動(dòng)傳感器

  微型傳感器不是傳統(tǒng)傳感器簡(jiǎn)單的物理縮小的產(chǎn)物,而是以新的工作機(jī)制和物化效應(yīng),使用標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體工藝兼容的材料,通過(guò)MEMS 加工技術(shù)制備的新一代傳感器件,具有小型化、集成化的特點(diǎn):

  1、微型化MEMS振動(dòng)傳感器器件體積小、重量輕、耗能低、慣性小、諧振頻率高、響應(yīng)時(shí)間短。

  2、性能提高:可以極大地提高傳感器性能。在信號(hào)傳輸前就可放大信號(hào),從而減少干擾和傳輸噪音,提高信噪比;在芯片上集成反饋線路和補(bǔ)償線路,可改善輸出的線性度和頻響特性,降低誤差,提高靈敏度。

  3、陣列性:可以在一塊芯片上集成敏感元件、放大電路和補(bǔ)償線路。可以把多個(gè)相同的敏感元件集成在同一芯片上。

  4、兼容性:便于與微電子器件集成與封裝。

  5、以硅為主要材料:機(jī)械電器性能優(yōu)良:硅的強(qiáng)度、硬度和楊氏模量與鐵相當(dāng),密度類似鋁,熱傳導(dǎo)率接近鉬和鎢

  結(jié)合MEMS技術(shù)的優(yōu)點(diǎn),上海輝泰的傳感器具有超強(qiáng)的性能、實(shí)力強(qiáng)硬,方正小體積能夠適應(yīng)客戶現(xiàn)場(chǎng)各種狹窄、惡劣的安裝環(huán)境。且支持三軸傳感,還能采集設(shè)備表面溫度和振動(dòng)數(shù)據(jù),為后面WitExpert故障診斷工具對(duì)設(shè)備數(shù)據(jù)進(jìn)行機(jī)理模型+數(shù)理驅(qū)動(dòng)的分析提供了非常大的支持,幫助企業(yè)降低運(yùn)維成本,讓智能運(yùn)維更簡(jiǎn)單、更高效!

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